Normes de salle blanche pour les ateliers de fabrication de puces dans l’industrie des semi-conducteurs

1. Normes de catégorie de Cleanroom

La qualité des salles blanches est généralement divisée en fonction du nombre et de la taille des particules permises dans l’air. La norme ISO 14644 est généralement utilisée au niveau international pour la classification des grades. Selon cette norme,,,,,les grades des salles blanches sont de haut en bas: ISO 1-9.

Il convient de noter que les normes des salles blanches peuvent varier selon les industries et les applications spécifiques. Dans la production de puces à semi-conducteurs, les exigences standard pour les salles blanches sont généralement plus strictes pour s’assurer que la qualité et les performances des puces produites répondent aux attentes.

Les catégories de cleanroom peuvent être divisées en: catégorie 1> Grade 10> Catégorie 100> Catégorie 1000> Catégorie 10000> Catégorie 300000.

Les salles blanches de catégorie 1 sont principalement employées dans l’industrie de la microélectronique pour fabriquer des circuits intégrés, et les conditions de précision pour les circuits intégrés sont submicroniques.

Les salles blanches de Grade 10 sont principalement utilisées dans l’industrie des semi-conducteurs avec une bande passante de moins de 2 microns.

La propreté de la catégorie 100 est largement applicable et peut répondre aux besoins de propreté de la plupart des industries. Il peut être utilisé pour la technologie de fabrication aseptique dans l’industrie pharmaceutique. Cette salle blanche peut être utilisée dans des chirurgies pour la transplantation et la fabrication d’intégrateurs, ainsi que dans le traitement d’isolement de patients particulièrement sensibles aux infections bactériennes.

Les salles blanches de la classe 1000 sont principalement utilisées pour produire des produits optiques fins, et sont également utilisées pour tester et assembler des gyroscopes d’avion, assembler des microroulements fins, etc.

Les salles blanches de classe 10 000 peuvent être utilisées pour l’assemblage d’équipements hydrauliques ou pneumatiques et, dans certains cas, sont également utilisées dans l’industrie alimentaire et des boissons. En outre, les salles blanches de la classe 10 000 sont également largement utilisées dans l’industrie médicale.

2. Considérations de sécurité

La décoration des salles blanches de semi-conducteurs doit répondre à des exigences de sécurité. D’une manière générale, il y a un grand nombre de substances inflammables et explosives dans les salles blanches de semi-conducteurs, de sorte que les réglementations nationales de sécurité pertinentes, telles que la prévention des incendies et la prévention des explosions, doivent être observées pendant la décoration. De plus, la pollution de l’environnement ainsi que la santé et la sécurité du personnel doivent également être prises en compte pour s’assurer que les matériaux de décoration répondent aux normes nationales et ne nuisent pas à la santé humaine.

3. Système de traitement de l’air de salle blanche

Salles blanches de semi-conducteursExiger des systèmes de traitement de l’air pour assurer la propreté de l’air dans l’atelier. Le système de traitement de l’air est principalement composé de filtres à air, de systèmes d’alimentation en air, de systèmes de retour d’air et de systèmes d’échappement. Parmi eux, les filtres à air sont un composant important qui peut efficacement éliminer les particules et les micro-organismes dans l’air.

4. Décoration de sol, mur et plafond

Dans la décoration de la salle blanche de semi-conducteur, la décoration du plancher, du mur et du plafond est très importante parce que ces secteurs sont sensibles à la pollution. Le sol doit être fait de matériaux résistants à l’usure, antistatiques et faciles à nettoyer, tels que le sol auto-nivelant époxy ou le sol en plastique PVC; Les murs et le plafond devraient être faits de matériaux anticorrosion, antistatiques et faciles à nettoyer, tels que l’aluminium sandwich Panneau, panneau d’acier inoxydable, mur rideau en verre, etc.

5. Disposition du matériel électrique tel que les lampes et les prises

Dans la décoration de la salle blanche de semi-conducteur, la disposition des lampes et des prises est également très importante. Afin d’éviter que des polluants tels que la poussière et les micro-organismes ne pénètrent dans l’atelier, ces dispositifs doivent être installés au plafond ou au-dessus de la hauteur du mur, des matériaux antistatiques et non poudriers doivent être choisis.

6. Portes, fenêtres, établis propres et autres installations

Dans la décoration de semi-conducteur cleanroom,Portes de salle blanche, Fenêtres de salle blanche, des établis propres et d’autres installations doivent également être pris en considération. Les portes et les fenêtres doivent être faites de matériaux avec de bonnes performances d’étanchéité et faciles à nettoyer, tels que les portes et les fenêtres en acier inoxydable; Les établis propres doivent être faits de matériaux qui ne laissent pas tomber de poudre, de particules de laitier, résistants à la corrosion et faciles à nettoyer, comme les établis en acier inoxydable.