Semi-conducteur puce cleanroom

Avec le développement R rapide de la science et de la technologie, les puces à semi-conducteurs sont devenues l’un des composants de base des produits électroniques modernes. Afin d’assurer la qualité et l’efficacité de production des puces à semi-conducteurs, la construction de salles blanches est devenue cruciale. Il existe des exigences élevées pour la qualité de l’air dans l’environnement de production, et la qualité de l’air est liée au taux de rendement et à la qualité du produit. De nombreuses industries de semi-conducteurs ont besoin de salles blanches.

Semi-conducteur proprerPrincipe oom

Cleanroom est une pièce particulièrement conçue qui exclut les particules de poussière, les gaz nocifs, les bactéries et d’autres polluants de l’air dans un certain espace, et contrôle la température intérieure, la propreté, la pression intérieure, la vitesse et la distribution d’écoulement d’air, la vibration de bruit, l’éclairage, et l’électricité statique dans une certaine gamme exigée. En d’autres termes, les particules de poussière dans cette salle contrôlée sont assez rares.

Avantages de la technologie Cleanroom

Le procédé de fabrication de semi-conducteurs a des exigences très élevées et est très sensible aux environnements poussiéreux. La technologie de Cleanroom peut réaliser le bon contrôle environnemental et le filtrage efficace, rendant le processus de fabrication exempt de pollution ou avec la pollution extrêmement basse. Cela offre des possibilités illimitées pour la haute qualité et le rendement élevé des processus de fabrication de semi-conducteurs.

Dans le processus de fabrication des produits semi-conducteurs modernes, les principaux avantages de la technologie de salle blanche incluent:

1. Améliorer l’efficacité de la production: une série de facteurs tels que la température, l’humidité et la pression atmosphérique peuvent être contrôlés dans la salle blanche pour mieux réguler l’environnement de fabrication, améliorant ainsi l’efficacité de la production.

2. Réduire le taux de contamination du produit: les particules dans l’air dans la salle blanche sont finement filtrées, avec moins de pollution, réduisant ainsi le taux de contamination du produit.

3. Améliorer la qualité du produit: nettoyer La technologie de pièce peut contrôler l’environnement de fabrication et maintenir une température et une humidité relativement constantes, améliorant ainsi la qualité du produit.

4. Réduisez les coûts de production: grâce à la technologie de pièce propre, le taux de dommages des produits peut être réduit et la qualité du produit peut être améliorée. En même temps, il réduit également les coûts de production

Propreté de l’air

Les normes de propreté des salles blanches de matériel de semi-conducteur sont principalement divisées en plusieurs niveaux, de haut à bas: classe 100, classe 1000, classe 10000 et classe 100000. Parmi eux, la norme de propreté de la classe 100 est la plus élevée et les exigences sont très strictes, tandis que la norme de propreté de la classe 10000 est relativement lâche.

La norme de propreté de classe 100 est le plus haut niveau d’exigences de propreté dansMatériel de semi-conducteur cleanrooms....... À ce niveau, la concentration de particules dans l’air doit être très faible, et le nombre total de particules dont la taille des particules est égale ou supérieure à 0,5μm par pouce cube d’air ne doit pas dépasser 100. En outre, les exigences relatives aux microorganismes sont également très strictes, exigeant qu’il n’y ait aucun microorganisme du tout.

La norme de propreté de classe 1000 exige que la concentration de particules dans l’air ne dépasse pas 1000 particules de poussière supérieures ou égales à 0,5μm par mètre cube. Les exigences relatives aux micro-organismes sont relativement faibles et un certain nombre de micro-organismes sont autorisés à exister.

La norme de propreté de classe 10000 exige que la concentration de particules dans l’air ne dépasse pas 10000 par mètre cube. Les exigences relatives aux micro-organismes sont relativement lâches et un certain nombre de micro-organismes sont autorisés à exister.

La norme de niveau de propreté de 100 000 est le niveau le plus bas d’exigence de propreté dans les salles blanches de matériel de semi-conducteur. À ce niveau, la concentration de particules dans l’air ne doit pas dépasser 100 000 par mètre cube. Les exigences relatives aux micro-organismes sont relativement lâches et un certain nombre de micro-organismes sont autorisés.

Effets de l’humidité sur les salles blanches

1. Croissance bactérienne

2. La gamme de température ambiante que les travailleurs se sentent à l’aise 

3. L’apparition de la charge statique

4. Corrosion des métaux

5. Condensation de vapeur d’eau

6. Dégradation de la photolithographie

7. Absorption d’eau

La fabrication de semi-conducteurs a également des exigences très strictes en matière de contrôle de la température et de l’humidité. D’une manière générale, la température dans une salle blanche est contrôlée entre 20-24 degrés Celsius et l’humidité est contrôlée entre 30-60%. Le contrôle de la température et de l’humidité a un impact important sur les performances et la fiabilité de la puce.

Les bactéries et autres contaminants biologiques (moisissures, virus, champignons, acariens) peuvent se reproduire activement dans un environnement dont l’humidité relative est supérieure à 60%. L’humidité doit être contrôlée entre 40% et 60% pour minimiser l’impact des bactéries et des infections respiratoires, qui est également la gamme modérée pour le confort humain.

Points clés de la conception propre d’atelier

1. Répondez aux exigences du processus de production pour la conception architecturale et réalisez l’espace et les installations de fabrication de haute performance. Lors de la conception du plan général, de la disposition du plan et de la conception de la section de l’atelier propre du projet d’épuration, il faut prendre pleinement en considération l’utilisation rationnelle du site et les exigences de la production de processus. Lors de la conception de la construction du projet d’atelier propre d’épuration, la relation entre la zone propre et sa zone auxiliaire connecteur doit être bien manipulée.

2. Réaliser des installations qui peuvent fonctionner économiquement, économiser de l’énergie, être faciles à entretenir et réduire les coûts de construction. La conception architecturale de l’atelier propre de purification doit s’assurer que l’atelier propre de purification est propre, facile à nettoyer, empêche la pollution interne et externe, et empêche la génération, la rétention et l’accumulation de particules.

3. Des installations d’exploitation très fiables devraient être utilisées. La conception architecturale de l’atelier de purification propre devrait assurer le fonctionnement sûr de l’équipement du bâtiment, et assurer la sécurité du personnel et des biens en cas d’accident. La structure principale devrait avoir un niveau de catégorie qui est compatible avec le niveau de l’équipement de processus, le traitement de bâtiment et la décoration dans l’atelier propre de purification, la durabilité et la résistance au feu de l’atelier propre, et la décoration devrait être coordonnée avec le niveau d’équipement pour faire l’investissement durer pendant longtemps.

4. Des installations qui peuvent s’adapter aux changements futurs devraient être réalisées. Le plan architectural et la disposition spatiale de l’atelier clean doivent être souples pour créer les conditions nécessaires à l’adaptation des processus de production.

La norme de salle blanche des semi-conducteurs est une norme très importante qui est directement liée au succès de la fabrication de semi-conducteurs. En se conformant strictement à la norme de salle blanche, nous pouvons nous assurer que la qualité de l’air, la température et l’humidité, le contrôle de l’électricité statique et d’autres aspects du processus de fabrication de semi-conducteur répondent aux exigences, assurant ainsi la qualité de fabrication et la représentation de la puce. Dans le futur processus de fabrication de semi-conducteurs, la norme de salle blanche continuera à jouer un rôle important et à fournir un soutien solide pour le développement de l’industrie des semi-conducteurs.